愛德華IH80真空泵維修
功能和優勢: 1、優化了設施消耗。 2、無需預防性維護。 3、懸臂軸和特殊的異型轉子便于顆粒的處理。 4、在節省電機功率的同時*大程度提高了工作繁重的 CVD 應用條件下的穩定性。 5、耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。 6、較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的**保證。 7、整體式軸桿無需使用電機聯結器,而第五級泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積,從而降低了總體占地面積。